光学素材开发项目获批，光学素材开发项目获批准

来源：PTB 新闻

SENTECH 仪器有限公司、柏林工业大学、柏林亥姆霍兹素材与能源中心有限公司、德国联邦物理手艺研究院（PTB）配合联袂协做的结合研究提案已被批准用于柏林 IBB 投资银行的 ProFIT 方案（促进研究、立异、手艺的方案）。

在开展OptiRefS 项目（手艺层系统的光学参考数据）的三年期间，他们将开发用于在 200纳米以下波长范畴内对薄膜层停止椭圆丈量的新型参考物量，例如纹理硅外表和超薄二维石墨层。

通过利用 PTB 计量光源 MLS的实空紫外 (VUV-) 椭偏仪，能够确定具有可靠不确定度的响应光学常数。因为 VUV 光谱范畴内的丈量具有极高的外表灵敏性，因而丈量量量会遭到分子污染等外表效应的限造，招致那些范畴欠缺有效数据。

—— 编译：曹歆

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