在现代集成电路造造工艺中,光刻机为什么要摘用stepper曝光体例

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wly
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光刻机,谁创新。。。。 那玩意几万万一台,是给芯片厂商消费芯片用的。像intel的cpu那类的 你那句话取了一段,我理解为利用了尼康的光刻机。

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