芯片工艺7nm、5nm中的纳米指的是什么?

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zaibaike
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近期发布的“芯闻查询拜访组”有小伙伴对纳米造程的话题很感兴趣,以下是查询拜访组的后续报导。

我们晓得芯片由晶体管所构成,晶体管由源极、漏极和位于它们之间的栅极所构成,而平面造程工艺尺寸就是指源极到漏极的沟道长度,近似于栅极长度。

源极 = Source 漏极 = Drain 栅极 = Gate

图片来源收集 侵删图片来源收集 侵删

但是跟着手艺演进,类似FinFET的空间构造晶体管呈现,沟道长度已经不克不及代表工艺的更高精度。

那么区别于传统工艺,在FinFET工艺节点上,如今的定义是源极到漏极的空间间隔(那个间隔小于现实channel的电荷挪动间隔)。但如今的沟道长度其实不好丈量,它会按照掺杂扩散,大小尺寸纷歧,而栅极长度近似沟道长度,且栅极长度察看丈量更为曲不雅,因而接纳栅极长度做为造程工艺参考尺度。

沟道长度 = Channel Length 栅极长度 = Gate Length

因而我们常听到的芯片7nm、5nm,那个数字指的就是沟道长度,但因为它不容易不雅测,且栅极长度更曲不雅并近似沟道长度(栅极长度>沟道长度),所以一般约定俗成能够将其理解为栅极长度。

【芯闻查询拜访组】芯片工艺7nm,5nm中的纳米指的是什么?9303 播放 · 16 附和视频​

在“芯片查询拜访组”视频中更为严谨的示企图如下:gate length ≈ 7nm

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