工业硅工艺流程ppt?以下是工业硅的基本生产流程:1.硅原料准备:选用高纯度石英矿石为原料,经过碎磨和筛分后得到合适粒度的硅粉,2.硅粉制备:将硅粉混合一定比例的氢气并通过电弧加热反应,生成气相中的三氯化硅(SiCl3)和氢气(H2),然后通过冷却器使其凝华成为固态的多晶硅(polycrystalline silicon),3.硅棒拉制:将多晶硅棒放入石墨坩埚中,通过电阻加热将其熔化,并在恒定的温度梯度下缓慢拉伸出长而细的单晶硅棒(monocrystalline silicon rod),4.硅片制备:以单晶硅棒为原料,在切割机上将其切成薄片。
工业硅工艺流程ppt?
以下是工业硅的基本生产流程:
1.硅原料准备:选用高纯度石英矿石为原料,经过碎磨和筛分后得到合适粒度的硅粉。
2.硅粉制备:将硅粉混合一定比例的氢气并通过电弧加热反应,生成气相中的三氯化硅(SiCl3)和氢气(H2),然后通过冷却器使其凝华成为固态的多晶硅(polycrystalline silicon)。
3.硅棒拉制:将多晶硅棒放入石墨坩埚中,通过电阻加热将其熔化,并在恒定的温度梯度下缓慢拉伸出长而细的单晶硅棒(monocrystalline silicon rod)。
4.硅片制备:以单晶硅棒为原料,在切割机上将其切成薄片,并通过化学机械抛光(CMP)将表面平整化处理。
5.硅片清洗:用酸洗液和去离子水清洗硅片表面的杂质和有机物。
6.硅片烘干:将清洗后的硅片放入高温烘箱中进行烘干处理。
7.硅片扩散:通过高温加热将掺杂元素(如磷、硼等)在硅片表面扩散形成p型或n型材料,以便制造器件。
8.薄膜沉积:通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等技术,在硅片表面上沉积各种功能性材料,如二氧化硅、金属等。
9.光刻和蚀刻:将图案设计印制在硅片上,并用光刻胶覆盖,然后用蚀刻液将未被光刻胶保护的区域去除,形成电路结构。
10.清洗和测试:用清洗液清洗去除光刻胶残留物和蚀刻液,然后进行电性测试和质量检测。
以上是工业硅的基本生产流程,其中每一步都需要严格的操作控制和优化,以确保最终产品的质量和性能。
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