东方晶源光刻机做了哪一步？

东方晶源光刻机做了哪一步？

东方晶源光刻机实现了光源电子束检测的这一步。

东方晶源是我国光刻机产业链的一员。东方晶源所在地属于“缺陷检测”，是光刻机配套设施的重要环节。中国唯一一家生产V光刻机的公司是上海微电子，东方晶源、科益虹源、华卓精科等都是上海微电子的供应商。东方晶源正在进行光刻机光源的缺陷检测。