俄罗斯微电子传感器工业集团是以研造和消费微电子压力传感器和相关仪器为主的新手艺企业,次要产物为MIDA系列硅-蓝宝石压力传感器。
早在70-80年代, 俄罗斯微电子传感器工业集团就对应变效应在异量外延半导体构造 --“蓝宝石上的硅”(SOS,Silicon-on-Sapphire)的特征,停止了深切的研究,获得了良多科研成果。
操纵那些科研成果和专利手艺,消费出了一系列热工丈量仪表。硅-蓝宝石那一丈量手艺,已在原苏联、法国、美国、德国等国度获得了专利。
目前,MIDA公司正在研造新的产物,其实不断完美已消费仪表的各项性能,尽全力满足工业、能源、运输、市政和其它范畴的用户对丈量压力方面的需求。
工做原理和构造构成:
MIDA系列压力传感器和变送器,操纵应变电阻式工做原理,接纳硅-蓝宝石做为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特征。
蓝宝石系由单晶体绝缘体元素构成,不会发作滞后、怠倦和蠕变现象;蓝宝石比硅要巩固,硬度更高,不怕形变;蓝宝石有着十分好的弹性和绝缘特征(1000 OC以内),因而,操纵硅-蓝宝石造造的半导体敏感元件,对温度变革不敏感,即便在高温前提下,也有着很好的工做特征;蓝宝石的抗辐射特征极强;别的,硅-蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移,因而,从底子上简化了造造工艺,进步了反复性,确保了高废品率。
用硅-蓝宝石半导体敏感元件造造的压力传感器和变送器,可在最恶劣的工做前提下一般工做,而且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。
表压压力传感器和变送器由双膜片构成:钛合金丈量膜片和钛合金领受膜片。
印刷有异量外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片,被焊接在钛合金丈量膜片上。被测压力传送到领受膜片上(领受膜片与丈量膜片之间用拉杆巩固的毗连在一路)。在压力的感化下,钛合金领受膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,其电桥输出会发作变革,变革的幅度与被测压力成反比。
传感器的电路可以包管应变电桥电路的供电,并将应变电桥的失衡信号转换为同一的电信号输出(0-5,4-20mA或0-5V)。在绝压压力传感器和变送器中,蓝宝石薄片,与陶瓷基极玻璃焊料毗连在一路,起到了弹性元件的感化,将被测压力转换为应变片形变,从而到达压力丈量的目标。