多晶硅是怎么样获得的?

1周前 (09-09 12:11)阅读1回复0
xxhh
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楼主

该工艺将工业硅粉与HCl反应,加工成SiHCl3,再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅

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