多晶硅的工业生产有哪些呢?

1周前 (09-09 12:12)阅读1回复0
xxhh
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楼主

硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅

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