多晶硅的优点有什么?

1周前 (09-09 12:12)阅读1回复0
wsygfsj
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和金属栅极比起来,多晶硅的优点在于对温度的忍受范围较大,使得制造过程中,离子布值(ionimplantation)后的退火(anneal)制程能更加成功

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