多晶硅生产工艺有哪些?

1周前 (10-20 18:10)阅读2回复0
yk
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楼主

1, SiCl4 法;

2, SiH2Cl2 法;

3, SiH4 法;

4, SiHCl3 法.

如需详细材料,可和我获得联络。

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